白光干涉檢測系統(tǒng)

詳細分類

型號：CR-100V

　　■產(chǎn)品簡介CR-100V白光干涉檢測系統(tǒng)（白光干涉儀）可以非接觸檢測表面微結(jié)構(gòu)形貌，以及相關(guān)的截面以及粗糙度參數(shù)。精度高，不會對被測物造成損壞。主要應(yīng)用于高端制造行業(yè)，例如：光電子材料與器件、材料科學(xué)表面分析，MEMS微器件、LED芯片，光學(xué)測量、光學(xué)加工、精密機械加工，高等學(xué)校光學(xué)技術(shù)及物理光學(xué)實驗等。■產(chǎn)品特點1、非接觸檢測2、新型白光干涉物鏡，工作距離可達17.7mm3、可測試最低反射率0.5%的樣品4、高分辨率彩色CCD系統(tǒng)5、白光干涉軟件操作簡潔，全中文界面，很容易掌握操作。■技術(shù)規(guī)格一、白光干涉儀參數(shù)1、光學(xué)設(shè)計：無限遠相移白光干涉系統(tǒng)2、觀察方式：連接電腦，視頻顯示3、光學(xué)參數(shù)放大倍數(shù)光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑N.A測量范圍光學(xué)分辨率工作距離5X（選購）無限遠白光干涉0.120.5x0.55um23.6mm10X無限遠白光干涉0.250.25x0.252.2um17.7mm4、工作臺：圓盤360°旋轉(zhuǎn)，直徑150mm，帶傾斜調(diào)整功能，X軸行程：76mm，Y軸行程：50mm5、調(diào)焦：行程50mm，手動粗微調(diào)，微調(diào)格值0.002mm6、光源：LED白光光源，亮度手動可調(diào)，使用壽命不低于10000小時。中心波長：580nm7、、電源：AC100--240V50-60Hz8、儀器重量：20kg二、圖像顯示：圖像傳感器:1/2.5"彩色300萬CMOS；分辨率：2048x1536；像素點尺寸：2.2μmx2.2um；幀率：8fps全分辨率；數(shù)據(jù)接口:USB3.0.三、自動圖像采集測量系統(tǒng)1、納米驅(qū)動器：最大位移：80um；分辨率：5nm閉環(huán)控制；重復(fù)定位精度：0.1nm；線性度：0.2nm%F.S.2、自動圖像采集：軟件是圖像采集以及納米定位功能集成化控制的軟件，可以根據(jù)設(shè)定，驅(qū)動納米驅(qū)動器做納米級定位控制，同時對不同位置的干涉條紋進行采集；同時可設(shè)定圖像的曝光，像素，增益等參數(shù)。定位控制有開環(huán)閉環(huán)工能可供選擇。3、白光干涉分析軟件：基于Matlab使用，操作簡單，可以檢測臺階類樣品的臺階高度，臺階最大高度不大于70um；可以檢測到Ra不大于0.2um的表面粗糙度。可以截取到被檢測樣品的任何位置的橫切或者縱切面輪廓。檢測結(jié)果可以直接生成報告。直接可以測量的數(shù)據(jù)有，被選取位置的橫向以及縱向的粗糙度XRa，YRa；Sa，RMS，PV,以及視場區(qū)域內(nèi)最大和最小的數(shù)據(jù)。四、聯(lián)想品牌計算機：Win764位操作系統(tǒng)/I7四核CPU/8G內(nèi)存/獨立顯卡/23寸顯示器■儀器成套性1、白光干涉儀一臺2、白光干涉物鏡10X一只3、多功能工作臺一套4、專用數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)一套5、PZT控制器及自動采集系統(tǒng)一套6、白光干涉測量軟件一套5、聯(lián)想品牌計算機一套6、產(chǎn)品合格證、保修卡及使用說明書一份

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