本文標題："齒輪測量-微小的齒形狀輪廓測量光學影像測量儀"
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齒輪測量-微小的齒形狀輪廓測量光學影像測量儀
光學和電子顯微鏡法
光學和電子顯微鏡法常用來研究降解過程中表面的幾何形態(tài)
(組織形態(tài))變化。光學顯微鏡法分辨率有限(大約]微米)，
所得到的是有關形成大的裂紋、裂縫、氣泡等數據，這些都與表
面光澤有關。表而復制電子顯微照相(例如，用聚合物纂膠或
烙體復制)有高的分辨率(^-5^-10納米)，，但制備模擬制品是
困難的，并且在制備時可能帶入人工的影響。掃描電子顯微鏡法
(S EM)是用于表面研究的J泣通用的方法，分辨率約10-20
納米。SEM能得到極好的立體表面形態(tài)圖象，甚至能觀察到給
晶現象。
近發(fā)展的周節(jié)測量儀有:測量方法還是原來的而實現了自
動化的測量儀，引進了可直接求出分度誤差的新測量方法而實現
了自動化的測量儀。
對于滾齒或齒條形刀具切齒的齒輪，刀具基節(jié)轉移為工件基
節(jié)，間接測量刀具基節(jié)。精度低的齒輪，特別是齒形誤差大的齒
輪，因測量位且產生的誤差變動大，難以測量。相反，磨齒齒輪
由于齒形精度高，測量也比較容易。用手持式測量儀測量斜齒輪
基節(jié)時，螺旋角大者則基節(jié)測量值難以穩(wěn)定。
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