本文標(biāo)題："粗糙與集成電路技術(shù)以及和機(jī)電一體化粗糙度測量儀"
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粗糙與集成電路技術(shù)以及和機(jī)電一體化粗糙度測量儀
粗糙度測量儀采用的測量方法
隨著微機(jī)的出現(xiàn)與發(fā)展，粗糙處理技術(shù)與集成電路技術(shù)以及和機(jī)電
一體化技術(shù)等的發(fā)展，出現(xiàn)了采用粗糙度的測量方法變多了起來，
而這種方法可分為分形法、Motif法、功能參數(shù)集法、時(shí)間序列技
術(shù)分析法、小二乘多項(xiàng)式擬合法、濾波法等方法。
粗糙的精密加工表面的粗糙性能評(píng)價(jià)以及對(duì)粗糙迫切性的表面粗糙
參數(shù)研究表面和其性能。
表面粗糙度的進(jìn)展與表面形貌和評(píng)定的信號(hào)提取和使用粗糙性能的
量化評(píng)定，提出了許多粗糙分離與粗糙重構(gòu)方法。
取得了相對(duì)比較成熟的是分形法和Motif法測量方法。表面粗糙度
儀光潔度的標(biāo)準(zhǔn)主要是術(shù)語及定義參數(shù)，符合幾何量技術(shù)規(guī)范結(jié)構(gòu)
法為接觸觸針式的特性。
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