本文標(biāo)題："離子顯微分析器采用極高的靈敏度和空間分辨率"

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離子顯微分析器采用極高的靈敏度和空間分辨率

    微電子器件的檢測(cè)往往要求極高的靈敏度和空間分辨率。不
論用火花源質(zhì)誘儀，還是用電子微探針分析器都可同時(shí)達(dá)到這兩
方面的要求。此外，若采用離子顯微分析器，可以火花源質(zhì)譜儀在
靈敏度方面提高二個(gè)數(shù)量級(jí)。在分析面積方面，它比電子微探針分
析器稍大一些。在深度方面，比火花源質(zhì)譜儀或電子微探針分析
器都要小得多。因此，離子顯微分析器在所謂“重量檢測(cè)”靈敏度方
面，比火花源質(zhì)譜儀或電子微探針分析器都要大4到5個(gè)數(shù)量級(jí)。
    基本原理 離子微探針質(zhì)譜儀是一種微分析儀，它產(chǎn)生一束加速
單能離子束(通常是氧或氬離子)，用以腐蝕或電離試樣表層。

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離子顯微分析器采用極高的靈敏度和空間分辨率,熒光顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)

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