本文標(biāo)題："越光滑的表面損耗越低，靈敏度將因而提升"

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瞬間制作出金屬奈米結(jié)構(gòu)

金屬奈米結(jié)構(gòu)是很多奈米級(jí)元件組成的關(guān)鍵要素，例如分子電子元件的電極、磁性記憶體以及利用金屬表面電漿子(surface plasmon)共振的光子元件。然而，如何快速制作出尺寸大小可以控制的金屬奈米結(jié)構(gòu)，仍是一個(gè)值得研究的工作。

金屬的表面會(huì)短暫的熔化數(shù)百個(gè)奈秒，然后在石英模周圍重新結(jié)晶。這種超快的單步驟(one-step)處理，可以取代傳統(tǒng)需經(jīng)多次光阻曝光顯影、蝕刻和移除光阻劑后才能完成的圖案轉(zhuǎn)移法(pattern transfer)。為證明此方法可行，研究團(tuán)隊(duì)分別制作了鎳、銅、金與鋁等四種金屬光柵，其週期為200 nm，線寬為 100 nm。

此技術(shù)成功的關(guān)鍵在于使用了準(zhǔn)分子雷射(excimer laser)，這種雷射通常應(yīng)用在雷射手術(shù)中。由于它能只針對(duì)材料薄的表面層進(jìn)行加熱，因此不會(huì)傷害到表面層以下的材料。此外，它對(duì)基板產(chǎn)生的熱效應(yīng)也小，因此壓模與基板的熱膨脹系數(shù)不需要相同，例如研究人員可以使用石英壓模與矽基板的組合。

此制程技術(shù)極具發(fā)展性，例如直接在貴金屬(noble metal)薄膜上制作孔洞陣列，利用異常光穿透(extraordinary optical transmission, EOT)現(xiàn)象來做為生物感測(cè)器。除了制作金屬材料的奈米結(jié)構(gòu)外，也可以使用平滑的石英壓模來得到更平滑的金屬表面，這對(duì)表面電漿子共振元件而言十分重要，因?yàn)樵焦饣谋砻鎿p耗越低，靈敏度將因而提升。

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越光滑的表面損耗越低，靈敏度將因而提升,熒光顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)

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