本文標(biāo)題："集中了透射和掃描電鏡的功能為分析電子顯微鏡的特點(diǎn)"
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分析電子顯微鏡
集中了透射和掃描電鏡的功能。它的特點(diǎn)是可以在試樣的同一個(gè)微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行電子顯微像觀察﹑
電子衍射觀察以及成分分析。分析電鏡的結(jié)構(gòu)是在一般透射電鏡的基礎(chǔ)上加上掃描附件和 X 射線能譜儀。
近來又加上了電子能量損失譜儀。電子能量損失譜分為電離損失譜﹑擴(kuò)展電離損失譜精細(xì)結(jié)構(gòu)和等離子體激元損失譜。
電離損失譜可用于成分分析﹐它基于透射電子激發(fā)試樣中原子內(nèi)層電子而引起的能量損失﹐
特點(diǎn)是可以分析碳﹑氮﹑氧等輕元素﹐探測極限低﹐空間分辨率高﹐已逐漸發(fā)展為分析電鏡中的常規(guī)方法。
電離損失譜 有時(shí)有幾十至幾百電子伏的起伏﹐稱擴(kuò)展電離損失譜精細(xì)結(jié)構(gòu)﹐它和擴(kuò)展X射線吸收精細(xì)結(jié)構(gòu)譜相類似﹐
可以從中得到有關(guān)原子近鄰位置和數(shù)目的信息。等離子激元損失譜則可用來測定價(jià)電子的濃度。
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